今天，湘芯半導(dǎo)體生產(chǎn)基地(一期)項(xiàng)目在婁星產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)開工建設(shè)。該項(xiàng)目總投資25億元，其中項(xiàng)目一期投資9億元，將建成全國(guó)首條大尺寸靜電吸盤生產(chǎn)線、碳化硅刻蝕環(huán)生產(chǎn)線、超高速磁懸浮分子泵生產(chǎn)線。達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計(jì)可年產(chǎn)3萬(wàn)件半導(dǎo)體設(shè)備用核心零部件。

靜電吸盤是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵設(shè)備，用于穩(wěn)定吸附與搬運(yùn)半導(dǎo)體材料，特別是在晶圓切割、封裝測(cè)試等環(huán)節(jié)不可或缺;碳化硅刻蝕環(huán)是半導(dǎo)體等離子刻蝕機(jī)的關(guān)鍵耗材，是生產(chǎn)高端芯片必不可少的材料;磁懸浮分子泵能為光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、真空鍍膜設(shè)備等半導(dǎo)體設(shè)備，創(chuàng)建高真空環(huán)境。

近年來(lái)，婁底以“材料谷”為統(tǒng)攬，打造特色產(chǎn)業(yè)集群，已形成450萬(wàn)噸硅鋼基板、300萬(wàn)噸不同牌號(hào)硅鋼產(chǎn)能，先后引進(jìn)愛(ài)派爾工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)+數(shù)字化智能制造產(chǎn)業(yè)園、湖南宏旺新材料科技有限公司年產(chǎn)96萬(wàn)噸高牌號(hào)硅鋼項(xiàng)目、湖南奧藍(lán)新材料科技有限公司MLED顯示模組項(xiàng)目等。今年，婁底推動(dòng)鋼鐵新材產(chǎn)業(yè)鏈向下游延伸，已簽約電機(jī)、電力變壓器、家電等“三電”產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目53個(gè)，總投資175.82億元，湘芯半導(dǎo)體生產(chǎn)基地項(xiàng)目是重要成果之一。

關(guān)鍵詞：